Gigaphoton, ArF lazerler için neon geri dönüşüm sistemini tanıttı

hTGM sistemi için yüzde 50 geri kazanım açıklayan şirket, tek bir ünitede neon tüketimini yılda 470 kilotres azaltabildiğini söylüyor.

Gigaphoton, ArF excimer lazerler için geliştirdiği hTGM neon gazı geri dönüşüm sistemini tanıttı ve sistemin yüzde 50 geri dönüşüm oranına ulaştığını açıkladı. Şirket, bu sistemin tek bir ArF ünitesinde neon gazı tüketimini yılda 470 kilotres’e kadar azaltabildiğini de söylüyor.

Gigaphoton daha önce KrF lazerlerde neon geri dönüşümü sunuyordu; şimdi bu kabiliyeti ArF lazerlere de genişletmiş oldu. Haberde neon arzı kaygılarının, 2022 öncesinde yarı iletken neonunun yüzde 50’sine kadarını sağlayan Ukrayna’ya ve savaşın tedarik zincirinde yarattığı aksamalara bağlandığı aktarılıyor. Aynı alanda Kanken Techno, Eylül ayında SemiCon Taiwan’da excimer lazerler için bir neon geri dönüşüm sistemi gösterdiğini ve yüzde 90’ın üzerinde geri dönüşüm sağladığını söyledi. Cymer ise benzer bir excimer lazer neon geri kazanım sisteminin 2015’te yüzde 50 verim gösterdiğini daha önce ortaya koymuştu.