Langdao Silex, Şanghay’da EUV ışık kaynağı prototipini sergiledi

Şirketin FlintNano LPP-OXXO kaynağı 15W üzeri EUV çıkışı ve 100 saatten uzun çalışma iddiasıyla öne çıkıyor; ticari ürün için ise yıllar var.

Çinli startup Langdao Silex, Şanghay’daki 26. China International Industry Fair’de bir EUV ışık kaynağı prototipi gösterdi. Bu prototip, Çin’in hâlâ ASML’den alınan litografi araçlarına yerel alternatifler geliştirme çabasının parçası olarak öne çıkıyor.

Şirket, FlintNano LPP-OXXO kaynağının 15W üzeri EUV çıkışı verdiğini söylüyor. Langdao’ya göre prototipin bileşenlerinin yüzde 90’ı yerli kaynaklı ve sistem, 3% RMS plazma kararlılığı ile 5% EUV çıkış gücü kararlılığı koruyarak 100 saatten uzun süre kesintisiz çalışabiliyor.

TrendForce, kaynaklara dayanarak Langdao’nun teknolojiyi ticarileştirmek için üç ila beş yıl daha ihtiyaç duyacağını aktarıyor. Şirket ayrıca daha yüksek güçlü bir FlintMicro-LPP kaynağı da geliştiriyor; bu çalışma proof-of-principle doğrulamasını tamamladı, ancak güç, verimlilik ve ömür bilgileri açıklanmadı.